| 货号 | 包装规格 | 操作 |
|---|---|---|
| 901624-1L | 1 L |
BOE 6:1是6份体积的40%氟化铵和1份体积的49%氢氟酸。
缓冲氧化物蚀刻剂（BOE）是一种用于微细加工的液体腐蚀剂。它的主要用途是蚀刻二氧化硅（SiO2）或氮化硅（Si3N4）的薄膜。它是氟化铵（NH4F）和氢氟酸（HF）等缓冲液的混合物。浓缩的 HF 蚀刻二氧化硅的速度太快，不能很好地进行工艺控制，同时也会剥落用于光刻图案化的光刻胶。
缓冲氧化物蚀刻剂（BOE）6：1可用于栅极光刻（gate photolithography）的AlGaN / GaN基高电子迁移率晶体管的氧化物去除。它可用于缓冲氧化物蚀刻剂法，制造微型生物芯片。
| 英文名称 | Buffered oxide etchant (BOE) 6:1 |
| UNSPSC | 12161700 |
| NACRES | NA.23 |
| 形态 | 液体 |
| 质量等级 | 100 |
| 包装规格（货号 901624-1L） | 1 L |
