Sigma-Aldrich 缓冲氧化物蚀刻剂(BOE) 10:1

规格与货号

货号	包装规格	操作
901621-1L	1 L

901621-1L

产品概述

缓冲氧化物蚀刻剂（BOE）是一种用于微细加工的湿蚀刻剂。它的主要用途是蚀刻二氧化硅（SiO₂）或氮化硅（Si₃N₄）薄膜。它是一种缓冲剂的混合物，例如氟化铵（NH₄F）和氢氟酸（HF）。浓缩HF对二氧化硅的蚀刻速度太快，无法实现良好的工艺控制，并且还会剥离用于光刻图案化的光刻胶。

缓冲氧化物蚀刻剂(BOE) 10:1可用于刻蚀微机电系统 (MEMS)用碳化钛。也可用于旋涂掺杂材料(SOD)的蚀刻，用于开发导体-绝缘体-导体隧穿二极管。它还用于提高熔融石英器件的表面质量。

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