Sigma-Aldrich 含有表面活性剂的缓冲氧化物蚀刻剂（BOE）6：1

规格与货号

货号	包装规格	操作
901623-1L	1 L

901623-1L

产品概述

缓冲氧化物蚀刻剂（BOE）是一种用于微细加工的湿蚀刻剂。它的主要用途是蚀刻二氧化硅（SiO₂）或氮化硅（Si₃N₄）薄膜。它是一种缓冲剂的混合物，例如氟化铵（NH₄F）和氢氟酸（HF）。浓缩HF对二氧化硅的蚀刻速度太快，无法实现良好的工艺控制，并且还会剥离用于光刻图案化的光刻胶。

含表面活性剂的缓冲氧化物蚀刻剂（BOE）6：1可用于去除基于AlGaN/GaN 高电子迁移率晶体管的氧化物，用于栅极光刻。也可用于缓冲氧化物蚀刻剂方法，制造微生物芯片。

英文名称	Buffered oxide etchant (BOE) 6:1 with surfactant
NACRES	NA.23
UNSPSC	12161700
形态	液体
包装规格（货号 901623-1L）	1 L

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