| 货号 | 包装规格 | 操作 |
|---|---|---|
| 667447-500ML | 500 mL |
用于氮化硅 (Si3N4)、氮化镓 (GaN) 或氧化铝 (Al2O3) 的快速可控蚀刻。
180°C 下的蚀刻速率：
氧化铝 120Å/min
氮化硅 125Å/min
氮化镓 80Å/min
二氧化硅 1Å/min
硅 1Å/min
| 英文名称 | Ceramic Etchant A |
| UNSPSC | 12352300 |
| NACRES | NA.23 |
| MDL 号 | MFCD08705343 |
| 质量等级 | 100 |
| 包装规格（货号 667447-500ML） | 500 mL |
