| 货号 | 包装规格 | 操作 |
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| 648663-2G | 2 g |
双（乙基环戊二烯基）钌（II）是一种有机金属化合物，广泛用作催化剂和薄膜沉积的前体。它具有高热稳定性、挥发性和在原子层沉积（ALD）和化学气相沉积（CVD）工艺中产生高纯度钌和氧化钌薄膜的效率。该化合物在微电子、催化和能源材料中发挥着关键作用。
双（乙基环戊二烯基）钌可用于：一种通过原子层沉积（ALD）法合成钌膜的前体。一种通过等离子体增强原子层沉积（PEALD）法在诸如SiO ↓ [2]的衬底上合成钌薄膜的前体。一种在化学气相沉积（CVD）法中存款钌（Ru）的金属-有机前体一种通过原子层沉积（ALD）和选择性蚀刻技术制备超薄钌（Ru）膜的前体。
双（乙基环戊二烯基）钌（II）表现出：高挥发性：适用于化学气相沉积（CVD）和原子层沉积（ALD）中的气相传输。热稳定性：在典型的ALD/CVD工艺温度下稳定。
| 英文名称 | Bis(ethylcyclopentadienyl)ruthenium(II) |
| CAS 号 | 32992-96-4 |
| 线性分子式 | C7H9RuC7H9 |
| 经验分子式 | C14H18Ru |
| 分子量 | 287.36 |
| NACRES | NA.23 |
| UNSPSC | 12352103 |
| MDL 号 | MFCD03427334 |
| InChI | 1S/2C7H9·Ru/c2*1-2-7-5-3-4-6-7;/h2*3-6H，2H2，1H3; 1S/2C7H9·Ru/c2 * 1 - 2 - 7 - 5 - 3 - 4 -6- 7; |
| SMILES字符串 | [Ru].CC[C]1[CH][CH][CH][CH]1.CC[C]2[CH][CH][CH][CH]2 |
| InChI key | 乌得勒支省 |
| 质量等级 | 100 |
| 形态 | 液体 |
| 成分 | Ru，重量百分比为33.9-36.4% |
| 反应适用性 | 核：钌;试剂类型：催化剂 |
| 折射率 | n20/D 1.5870（照明） |
| 沸点 | 100 °C/0.01 mmHg（文献值） |
| 熔点 | 6 °C（亮） |
| 密度 | 25 ℃时为1.3412 g/mL（文献值） |
| 储存温度 | −20°C |
| 包装规格（货号 648663-2G） | 2 g |
