| 货号 | 包装规格 | 操作 |
|---|---|---|
| 454516-5ML | 5 mL |
97%
四（三甲基硅氧基）硅烷（TTMS）是一种有机硅化合物，用作在常压压力下通过等离子体增强化学气相沉积（PECVD）制备纳米结构有机硅聚合物膜的前体。TTMS与环己烷也可用于PECVD法合成低介电常数SiCOH薄膜。
| 英文名称 | Tetrakis(trimethylsilyloxy)silane |
| CAS 号 | 3555-47-3 |
| 线性分子式 | [(CH3)3SiO]4Si |
| 经验分子式 | C12H36O4Si5 |
| 分子量 | 384.84 |
| NACRES | NA.22 |
| UNSPSC | 12352103 |
| EC 号 | 222-613-4 |
| MDL 号 | MFCD00051587 |
| InChI key | VNRWTCZXQWOWIG-UHFFFAOYSA-N |
| InChI | 1S/C12H36O4Si5/c1 - 17（2，3）13 - 21（14 - 18（4，5）6，15 - 19（7，8）9）16 - 20（10，11）12/h1 - 12H3 |
| SMILES字符串 | C[Si](C)(C)O[Si](O[Si](C)(C)C)(O[Si](C)(C)C)O[Si](C)(C)C |
| 含量测定 | 97% |
| 折射率 | n20/D 1.389（亮） |
| 沸点 | 103 - 106 ° C/2 mmHg（点燃） |
| 密度 | 0.87 g/mL，25 ℃（文献值） |
| 质量等级 | 100 |
| 官能团 | 硅烷基 |
| 包装规格（货号 454516-5ML） | 5 mL |
