| 货号 | 包装规格 | 操作 |
|---|---|---|
| 423815-5ML | 5 mL | |
| 423815-25ML | 25 mL |
99%
用于微电子学所用 SiO2 的化学气相沉积的试剂。
| 英文名称 | Diethylsilane |
| CAS 号 | 542-91-6 |
| 线性分子式 | （C2H5）2SiH2 |
| 经验分子式 | C4H12Si |
| 分子量 | 88.22 |
| UNSPSC | 12352103 |
| NACRES | NA.22 |
| EC 号 | 208-834-9 |
| MDL 号 | MFCD00039877 |
| InChI key | UCXUKTLCVSGCNR-UHFFFAOYSA-N |
| InChI | 1S/C4H12Si/c1-3-5-4-2/h3-5H2，1-2H3 |
| SMILES字符串 | CC[SiH2]CC |
| 含量测定 | 99% |
| 形态 | 液体 |
| 折射率 | n20/D 1.391（亮） |
| 沸点 | 56 °C（亮） |
| 密度 | 0.681 g/mL，25 °C（lit.） |
| 质量等级 | 100 |
| 官能团 | 硅烷基 |
| 包装规格（货号 423815-5ML） | 5 mL |
| 包装规格（货号 423815-25ML） | 25 mL |
