Sigma-Aldrich 五（二甲基氨基）钽（V），百分之九十九点九九

Name: Sigma-Aldrich 五（二甲基氨基）钽（V），百分之九十九点九九
Brand: Sigma-Aldrich
Availability: InStock

Sigma-Aldrich Pentakis(dimethylamino)tantalum(V)，99.99%

SIGMA-ALDRICH授权代理催化剂

CAS 号 19824-59-0品牌 Sigma-Aldrich类目 实验室试剂 / 催化剂更新日期 2026-10-27

规格与货号

货号	包装规格	操作
496863-5G	5 g

基材原子数：73 钽

氮化钽 (TaN) 薄膜的挥发性固体 CVD 前体。当在沉积过程中存在 O₂、H₂O、NO 或 H₂O₂ 时，还会形成氧化钽 (Ta₂O₅) 薄膜。 Ta₂O₅ 薄膜作为集成电路制造中的栅电介质材料具有广阔的应用前景。

英文名称	Pentakis(dimethylamino)tantalum(V)
CAS 号	19824-59-0
线性分子式	Ta（N（CH3）2）5
经验分子式	C10H30N5Ta
分子量	401.33
NACRES	NA.23
UNSPSC	12352103
MDL 号	MFCD01631286
InChI	1S/5C2H6N.Ta/c51-3-2;/h51-2H3;/q5*-1;+5
SMILES字符串	CN(C)[Ta](N(C)C)(N(C)C)(N(C)C)N(C)C
InChI key	VSLPMIMVDUOYFW-UHFFFAOYSA-N
含量测定	99.99%
质量等级	100
反应适用性	核心：钽;试剂类型：催化剂
熔点	100 ° C（dec.）（lit.）
包装规格（货号 496863-5G）	5 g