| 货号 | 包装规格 | 操作 |
|---|---|---|
| 553468-5G | 5 g | |
| 553468-25G | 25 g |
三(叔丁氧基)硅烷醇可以与各种金属烷基酰胺反应，作为气相沉积金属硅酸盐的前体。它也是二氧化硅沉积的理想前体。
三(叔丁氧基)硅烷醇与四(二甲基氨基)-铪蒸气（Hf(N(CH3)2)4）反应，用于硅酸铪玻璃膜的气相沉积。三(叔丁氧基)硅烷醇被用于无定形二氧化硅和氧化铝纳米层的高度共形层的原子层沉积（ALD）。
| 英文名称 | Tris(tert-butoxy)silanol |
| CAS 号 | 18166-43-3 |
| 线性分子式 | （（CH3）3CO）3SiOH |
| 经验分子式 | C12H28O4Si |
| 分子量 | 264.43 |
| NACRES | NA.23 |
| UNSPSC | 12352103 |
| MDL 号 | MFCD00271024 |
| InChI | 1S/C12H28O4Si/c1-10（2，3）14-17（13，15 -11（4，5）6）16-12（7，8）9/h13H，1-9H3 |
| SMILES字符串 | CC(C)(C)O[Si](O)(OC(C)(C)C)OC(C)(C)C |
| InChI key | HLDBBQREZCVBMA-UHFFFAOYSA-N |
| 含量测定 | 99.999% |
| 形态 | 固体 |
| 沸点 | 205-210 °C（发光） |
| 熔点 | 63-65 °C（亮） |
| 质量等级 | 100 |
| 包装规格（货号 553468-5G） | 5 g |
| 包装规格（货号 553468-25G） | 25 g |
