| 货号 | 包装规格 | 操作 |
|---|---|---|
| 469858-5G | 5 g | |
| 469858-25G | 25 g |
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Tetrakis（二甲基氨基）钛（IV）（TDMAT）是通过有机金属化学气相沉积（OMCVD）和通过原子层沉积（ALD）的二氧化钛薄膜的氮化钛（TiN）薄膜的前体。TDMAT 与过量的环戊二烯发生放热反应得到三（二甲基氨基）（η5-环戊二烯基）钛（IV）。
99.999%的微量金属含量确保了沉积薄膜的上级质量，具有最小的缺陷和一致的性能，这对微电子和光电子应用至关重要。高纯度降低了涂覆过程中的污染风险，从而提高了最终产品的附着力、耐用性和性能。不含杂质可以精确控制粒度和形态，提高纳米颗粒在目标应用中的有效性。高纯度确保电子特性不受杂质影响，提高器件性能和可靠性。将重金属控制在ppb水平可确保有效的污染控制、法规合规性和优化性能。
| 英文名称 | Tetrakis(dimethylamido)titanium(IV) |
| CAS 号 | 3275-24-9 |
| 线性分子式 | [(CH3)2N]4Ti |
| 经验分子式 | C8H24N4Ti |
| 分子量 | 224.17 |
| NACRES | NA.23 |
| UNSPSC | 12352103 |
| EC 号 | 221-904-3 |
| MDL 号 | MFCD00014861 |
| InChI key | MNWRORMXBIWXCI-UHFFFAOYSA-N |
| InChI | 1 S/4C 2 H6 N.钛/c4*1-3-2;/h4*1- 2 H3;/q4*-1;+4 |
| SMILES字符串 | CN(C)[Ti](N(C)C)(N(C)C)N(C)C |
| 含量测定 | 99.999%痕量金属基准 |
| 形态 | 液体 |
| 反应适用性 | 核心：钛 |
| 沸点 | 50 °C/0.5 mmHg（点燃） |
| 密度 | 0.947 g/mL，25 ° C（lit.） |
| 质量等级 | 200 |
| 包装规格（货号 469858-5G） | 5 g |
| 包装规格（货号 469858-25G） | 25 g |
