Sigma-Aldrich PlasmaFlo gas flow mixer and pressure monitor，交流/直流输入230伏交流电

产品概述

PlasmaFlo可与高功率扩展型、扩展型或基本型等离子体清洁器（230 V）配合使用，有利于气体混合、更精确地定量控制气体流量和监测真空压力。双气体输入流量计，最大流量为49 mL/min *，精度为±2%热电偶真空计和数字仪表（1到1999 mTorr）输入/输出连接：¼ in. SWAGELOK至¼ in. O.D.不锈钢软管适配器 * 最大流量因工艺气体和调节压力而异。最常见的工艺气体可使用相关的流量表（空气，Ar，N2，O2）与我们的等离子体清洗机一起使用，并在10 psig下计量。可以提供其他工艺气体和调节压力的流量表。请咨询Harrick Plasma。

与扩展型或基本型等离子体清洁器配合使用，可精确控制多达2种工艺气体、工艺气体混合和监测腔室压力。双气体输入流量计1：49 mL/min最大流量 * 流量计2：104 mL/min最大流量 *±2%精度热电偶真空计和数字仪表（1至1999毫托）输入/输出连接：1/4 in. Swagelok至1/4 in. O.D.不锈钢软管适配器 * 最大流量因工艺气体和调节压力而异。最常见的工艺气体可使用相关的流量表（空气、Ar、N2、O2）与我们的等离子清洗机配合使用，并在10 psig下计量。可提供其他工艺气体和调节压力的流量表。

技术规格