| 货号 | 包装规格 | 操作 |
|---|---|---|
| 463043-10G | 10 g | |
| 463043-20G | 20 g |
基础材料的原子序数：14硅
外延硅和硅基电介质快速低温沉积的前体。
通过快速低温化学气相沉积 (LTCVD)，本品可用于无定形硅、外延硅和硅基电介质的沉积。通过分子束外延 (MBE)，与锗的固体原料相结合，还可用于硅锗薄膜的外延生长。外延硅和硅基电介质快速低温沉积的前体。
| 英文名称 | Disilane |
| CAS 号 | 1590-87-0 |
| 线性分子式 | Si2H6 |
| 经验分子式 | H6Si2 |
| 分子量 | 62.22 |
| NACRES | NA.23 |
| UNSPSC | 12352103 |
| EC 号 | 216-466-5 |
| MDL 号 | MFCD00054678 |
| InChI key | PZPGRFITIJYNEJ-UHFFFAOYSA-N |
| InChI | 1S/H6Si2/c1-2/h1-2H3 |
| SMILES字符串 | [SiH3][SiH3] |
| 等级 | 电子级 |
| 含量测定 | ≥99.998%化学纯度（基于） |
| 形态 | 气体 |
| 杂质 | ≤50 ppm高级硅烷; <0.2 ppm氯硅烷; 2）; 2）; 2）; <1 ppm THC; <1 ppm水; <5 ppm硅氧烷 |
| 沸点 | −14.5 °C（lit.） |
| 熔点 | −132.6 °C（lit.） |
| 转变温度 | 临界温度150.9 °C |
| 质量等级 | 100 |
| 官能团 | 硅烷基 |
| 包装规格（货号 463043-10G） | 10 g |
| 包装规格（货号 463043-20G） | 20 g |
