| 货号 | 包装规格 | 操作 |
|---|---|---|
| 725471-10G | 10 g |
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基础材料的原子序数：40锆
原子层淀积ZrO 2薄膜的先进前体。HfO 2和ZrO 2薄膜在半导体和能源应用中是替代二氧化硅作为栅氧化物的主要候选材料。HfO 2和ZrO 2薄膜的优异性能使它们在替代栅氧化物和作为存储器件如DRAM中电容元件的潜在绝缘层方面特别有吸引力。
用于沉积系统的前体包装
在ALD生长工艺中，可与多种氧化剂兼容，在高达400 °C的温度范围内表现出自限制生长。前体挥发性和热稳定性使材料易于从起泡器输送到传统沉积工具中。
包装在与传统沉积系统兼容的不锈钢圆筒中。前体可作为稀溶液用于液体喷射系统，并与各种其他来源结合使用，以沉积混合氧化物存款。
| 英文名称 | Bis(methyl-η5−cyclopentadienyl)methoxymethylzirconium |
| CAS 号 | 916597-01-8 |
| 线性分子式 | Zr（CH3C5H4）2CH3OCH3 |
| 经验分子式 | C14H20ZrO |
| 分子量 | 295.53 |
| NACRES | NA.23 |
| UNSPSC | 12352103 |
| MDL 号 | MFCD16875687 |
| InChI | 1S/2C6H7·CH3O·CH3·Zr/c2 * 1 - 6 - 4 - 2 - 3 - 5 - 6; 1 - 2;;/h2 * 2 - 5H，1H3; 1H3; 1H3;/q;;-1;;+1 |
| SMILES字符串 | C[C]1[C][C][C][C]1.C[C]2[C][C][C][C]2.C[Zr]OC |
| InChI key | LFGIFPGCOXPKMG-UHFFFAOYSA-N |
| 形态 | 液体 |
| 反应适用性 | 核心：锆 |
| 绿色替代产品特性 | 节能设计节能设计了解更多有关绿色化学原理的信息。 |
| 可持续性 | 绿色替代产品，绿色替代产品 |
| 颜色 | 无色 |
| 沸点 | 110 °C/0.5 mmHg（亮） |
| 密度 | 1.27 g/mL±0.01 g/mL，25 °C（光照） |
| 更环保的替代类别 | 使能，使能 |
| 包装规格（货号 725471-10G） | 10 g |
