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Sigma-Aldrich Tris(diethylamido)(tert-butylimido)niobium(V),用于沉积系统的包装

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Sigma-Aldrich Tris(diethylamido)(tert-butylimido)niobium(V),用于沉积系统的包装

Sigma-Aldrich Tris(diethylamido)(tert-butylimido)niobium(V),packaged for use in deposition systems
SIGMA-ALDRICH授权代理沉积前驱体
CAS 号 210363-27-2品牌 Sigma-Aldrich类目 实验室试剂 / 沉积前驱体更新日期 2026-10-26

规格与货号

货号包装规格操作
751774-10G10 g

产品概述

三(二乙基氨基)(叔丁基亚胺)铌(V)(TBTDEN)是一种挥发性、热稳定的液体,用作薄膜沉积的铌前体,具有高蒸汽压和清洁的分解过程,非常适合要求材料具有高介电常数和坚固阻挡层的应用。

应用领域

Tris(二乙基氨基)在原子层沉积中,(叔丁基亚胺基)铌(V)用作铌前体,以产生掺杂铌的氧化锡(NTO),一种导电材料。这些NTO支架为薄铂层提供了大的表面积,改善了染料敏化太阳能电池中的电子转移。在金属有机化学气相沉积(MOCVD)中,生长氮化铌(NbN)薄膜。这些薄膜沉积在硅片上,提供了良好的导电性并适合于诸如栅叠层的电子应用。

技术规格

英文名称Tris(diethylamido)(tert-butylimido)niobium(V)
CAS 号210363-27-2
线性分子式((CH3)6N)3NbN(CH3)3
经验分子式C16H39N4Nb
分子量380.41
NACRESNA.23
UNSPSC12352103
MDL 号MFCD16659983
质量等级100
InChI1S/C4H9N.3C4H10N.Nb/c1-4(2,3)5;3*1-3-5-4-2;/h1-3H3;3*3-4H2,1-2H3;/q;3*-1;+3
SMILES字符串CCN(CC)[Nb](=NC(C)(C)C)(N(CC)CC)N(CC)CC
InChI keyCBCDPJRPMPTFKA-UHFFFAOYSA-N
形态液体
反应适用性核心:铌
密度25 °C时为1.015 g/mL
包装规格(货号 751774-10G)10 g

常见问题

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