| 货号 | 包装规格 | 操作 |
|---|---|---|
| 666610-25G | 25 g |
铪烷基酰胺是制备平滑非晶氧化铪薄膜的一种简便有效的原子层沉积前驱体。
用作氧化铪纳米层压板的原子层沉积的前体，其用作半导体器件中的氧化硅的替换物。
为沉积系统包装的前体
| 英文名称 | Tetrakis(dimethylamido)hafnium(IV) |
| CAS 号 | 19782-68-4 |
| 线性分子式 | [(CH3)2N]4Hf |
| 经验分子式 | C8H24HfN4 |
| 分子量 | 354.79 |
| NACRES | NA.23 |
| UNSPSC | 12352103 |
| MDL 号 | MFCD01862473 |
| InChI | 1 S/4C 2 H6 N.铪/c4*1-3-2;/h4*1- 2 H3;/q4*-1;+4 |
| SMILES字符串 | CN(C)[Hf](N(C)C)(N(C)C)N(C)C |
| InChI key | ZYLGGWPMIDHSEZ-UHFFFAOYSA-N |
| 含量测定 | ≥99.99%（痕量金属分析） |
| 形态 | 低熔点固体 |
| 反应适用性 | 核心：铪 |
| 熔点 | 26-29 °C（照明） |
| 密度 | 25 °C时为1.098 g/mL |
| 质量等级 | 100 |
| 包装规格（货号 666610-25G） | 25 g |
