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Sigma-Aldrich 四氯化硅,99.998%痕量金属

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Sigma-Aldrich 四氯化硅,99.998%痕量金属

Sigma-Aldrich Silicon tetrachloride,99.998% trace metals basis
SIGMA-ALDRICH授权代理沉积前驱体
CAS 号 10026-04-7品牌 Sigma-Aldrich类目 实验室试剂 / 沉积前驱体更新日期 2026-10-26

规格与货号

货号包装规格操作
289388-100ML100 mL
289388-800ML800 mL

产品概述

四氯化硅是一种高活性和挥发性的无机化合物,广泛用作溶液和气相沉积工艺的前体。它在合成高纯度硅基材料(如二氧化硅(SiO2)和氮化硅(Si 3 N4))中起着关键作用,这些材料在半导体工业、光学和光子学等广泛的高性能应用中至关重要。此外,它还用于制造高纯度石英玻璃、高级陶瓷和能量存储部件。

应用领域

半导体级

产品特点

四氯化硅表现出:高纯度(99.998%):确保最小的污染,这对光学和光子学应用至关重要半导体应用的理想选择:其超高纯度支持先进集成电路、晶圆和太阳能电池的制造

技术规格

英文名称Silicon tetrachloride
CAS 号10026-04-7
线性分子式SiCl4
经验分子式Cl4Si
分子量169.90
NACRESNA.23
UNSPSC12352103
EC 号233-054-0
MDL 号MFCD00011229
InChI keyFDNAPBUWERUEDA-UHFFFAOYSA-N
InChI1S/Cl4Si/c1-5(2,3)4
SMILES字符串Cl[Si](Cl)(Cl)Cl
蒸气密度5.86(与空气相比)
蒸气压420 mmHg(37.7 °C)
含量测定99.998%痕量金属
形态液体
反应适用性核心:硅
沸点57.6°C(文献值)
熔点 −70 °C(lit.)
密度25 ℃时为1.483 g/mL(文献值)
质量等级200
包装规格(货号 289388-100ML)100 mL
包装规格(货号 289388-800ML)800 mL

常见问题

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