| 货号 | 包装规格 | 操作 |
|---|---|---|
| 668990-10G | 10 g |
基材原子序数：73钽
用于沉积系统的前体包装
| 英文名称 | Tris(diethylamido)(tert-butylimido)tantalum(V) |
| CAS 号 | 169896-41-7 |
| 线性分子式 | N（C2 H5）2-（-甲基）-3-碳钽 |
| 经验分子式 | C16H39N4Ta |
| 分子量 | 468.46 |
| NACRES | NA.23 |
| UNSPSC | 12352103 |
| MDL 号 | MFCD02684506 |
| InChI | 1S/C4H9N.3C4H10N.Ta/c1-4（2，3）5;3*1-3-5-4-2;/h1-3H3;3*3-4H2，1-2H3;/q;3*-1;+3 |
| SMILES字符串 | CCN(CC)[Ta](=NC(C)(C)C)(N(CC)CC)N(CC)CC |
| InChI key | 雷克雅未克空军基地-乌尔夫-北 |
| 含量测定 | ≥99.99%（痕量金属分析） |
| 质量等级 | 100 |
| 形态 | 液体 |
| 反应适用性 | 核心：钽 |
| 密度 | 1.252 g/mL，25 ° C（lit.） |
| 包装规格（货号 668990-10G） | 10 g |
