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Sigma-Aldrich 乙醇钽(V),用于沉积系统的包装

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Sigma-Aldrich 乙醇钽(V),用于沉积系统的包装

Sigma-Aldrich Tantalum(V) ethoxide,packaged for use in deposition systems
SIGMA-ALDRICH授权代理催化剂
CAS 号 6074-84-6品牌 Sigma-Aldrich类目 实验室试剂 / 催化剂更新日期 2026-10-27

规格与货号

货号包装规格操作
760404-25G25 g

产品概述

用于沉积系统的包装

应用领域

乙醇钽(V)前体用于通过原子层沉积和化学气相沉积方法来存款氧化钽和其它含钽膜的超薄膜

技术规格

英文名称Tantalum(V) ethoxide
CAS 号6074-84-6
线性分子式钽(OC 2 H5)5
经验分子式C10H25O5Ta
分子量406.25
UNSPSC12352103
NACRESNA.23
EC 号228-010-2
MDL 号MFCD00049785
InChI1S/5C2H5O.Ta/c5 * 1 - 2 - 3;/h5 * 2H2,1H3;/q5 *-1;+5
InChI keyHSXKFDGTKKAEHL-UHFFFAOYSA-N
SMILES字符串CCO[Ta](OCC)(OCC)(OCC)OCC
形态液体
折射率n20/D 1.487(照明)
沸点155 °C/0.01 mmHg(亮)
熔点 21 °C(照明)
密度25 °C时为1.566 g/mL(文献值)
包装规格(货号 760404-25G)25 g

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