| 货号 | 包装规格 | 操作 |
|---|---|---|
| 946974-250G | 250 g | |
| 946974-1KG | 1 kg |
三仲丁醇铝是一种非自燃溶胶-凝胶前驱体，外观为无色液体，对湿度高度敏感，易水解为氧化铝衍生物。我们的≥99.9%微量金属基础等级确保了用于精确沉积的超低杂质，适用于通过原子层沉积（ALD）和化学气相沉积（CVD）沿着溶胶-凝胶前驱体合成Al 2 O 3。
三仲丁醇铝或ATSB可用作通过原子层沉积（ALD）和化学气相沉积（CVD）合成Al 2 O 3薄膜的合适Al前体。采用低压化学气相沉积（CVD）技术，沿着用四氯化钛（TiCl 4）在不同的CO2和H2气体流量下，在硅基片上制备了Al 2 O3-TiO 2薄膜（ATSB/TiCl 4 /CO2/H2系统）。我们的三仲丁醇铝（ATSB）具有≥99.9%的微量金属纯度，由于其卓越的纯度和稳定的性能，是先进薄膜应用的极有价值的前体。其低杂质水平确保最小的污染，这对于通过原子层沉积（ALD）和化学气相沉积（CVD）制备均匀和高质量的Al 2 O3薄膜至关重要。这种高纯度有助于增强薄膜性能，如改善的介电强度，化学稳定性，和均匀的厚度，半导体和微电子工业的关键因素。
已用于制备高表面积氧化铝，其中以 2,4-戊二酮（Aldrich 产品 P775-4）作为螯合剂。
| 英文名称 | Aluminum-tri-sec-butoxide |
| CAS 号 | 2269-22-9 |
| 线性分子式 | Al[OCH(CH3)C2H5]3 |
| 经验分子式 | C12H27AlO3 |
| 分子量 | 246.32 |
| UNSPSC | 12352103 |
| MDL 号 | MFCD00009327 |
| InChI key | WOZZOSDBXABUFO-UHFFFAOYSA-N |
| SMILES字符串 | CCC(C)O[Al](OC(C)CC)OC(C)CC |
| InChI | 1S/3C4H9O. Al/c3 * 1 - 3 - 4（2）5;/h3 * 4H，3H2，1 - 2H3;/q3 *-1;+3 |
| 含量测定 | Al（%，EDTA滴定）; ≥99.9%痕量金属（ICP-MASS/ICP-OES）; ≥99.9%痕量金属（%） |
| 形态 | 液体 |
| 自燃温度。 | 763 °F |
| 检测限 | 9.8 % |
| 杂质 | <1000 ppm 杂质（金属基准） |
| 沸点 | 200-206 °C/30 mmHg（点燃） |
| 熔点 | 200-206 °C |
| 密度 | 0.967 g/mL，25 °C（lit.）; 0.967 g/cm3 |
| 应用 | 半导体半导体 |
| 质量等级 | 200 |
| 包装规格（货号 946974-250G） | — |
| 包装规格（货号 946974-1KG） | — |
