| 货号 | 包装规格 | 操作 |
|---|---|---|
| 725544-10G | 10 g |
四（乙基甲基氨基）铪（IV）（TEMAH）是一种无色液体，在-50 °C下冻结，在0.1 Torr下约78 °C沸腾。它对空气和水敏感。
TEMAH用作氧化铪（HfO 2）和铪锆氧化物共形薄膜的原子层沉积（ALD）的前体（Hf 1 -xZrxO 2），PMID 31900395，它们由于其高介电常数而在半导体制造中用作介电膜。TEMAH非常适合于ALD，因为其吸附在包括玻璃的许多基底上是自限制的，铟锡氧化物（ITO）、Si（100）和二维材料如MoS 2。PMID 23683268 TEMAH也方便地与水或臭氧反应，作为ALD工艺中的氧源。
用于沉积系统的前体包装
该TEMAH包装在SWAGRINK不锈钢沉积系统中，便于连接ALD系统。钢瓶连接到316不锈钢球阀1/4英寸SWAGRINK VCR外螺纹接头
| 英文名称 | Tetrakis(ethylmethylamido)hafnium(IV) |
| CAS 号 | 352535-01-4 |
| 线性分子式 | [(CH3)(C2H5)N]4Hf |
| 经验分子式 | C12H32HfN4 |
| 分子量 | 410.90 |
| NACRES | NA.23 |
| UNSPSC | 12352103 |
| MDL 号 | MFCD03427130 |
| 质量等级 | 100 |
| InChI | 1S/4C3H8N. Hf/c4 * 1 - 3 - 4 - 2;/h4 * 3H2，1 - 2H3;/q4 *-1;+4 |
| SMILES字符串 | CCN(C)[Hf](N(C)CC)(N(C)CC)N(C)CC |
| InChI key | NPEOKFBCHNGLJD-UHFFFAOYSA-N |
| 形态 | 液体 |
| 反应适用性 | 核：铪;试剂类型：催化剂 |
| 沸点 | 78 °C/0.01 mmHg（亮） |
| 熔点 | <-50 °C |
| 密度 | 1.324 g/mL，25 °C（lit.） |
| 储存温度 | 2-8°C |
| 包装规格（货号 725544-10G） | 10 g |
