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德国耶拿半导体行业TOC应用解决方案(二):湿化学品纯度控制

时间:2025-12-1 14:52:11作者:admin1


德国耶拿半导体行业TOC应用解决方案(二):湿化学品纯度控制


在半导体制造领域,任何微小污染都可能导致产品良率与性能的显著下降。随着集成电路技术不断升级,超净高纯试剂的标准也日益严格。每一代微细加工技术都必须匹配相应纯度的化学品,这对质量控制提出了更高要求。



半导体制造中的TOC控制要求

总有机碳(TOC)分析以其高灵敏度、快速分析和强抗干扰能力,已成为高纯湿电子化学品检测的关键手段,直接关系到电子产品的最终质量和市场竞争力。


湿电子化学品的质量监控

酸类:硫酸、盐酸、磷酸、硼酸等

碱类:氨水、氢氧化钠等

其他化学品:双氧水等



01

|挑战一:高纯试剂直接进样难题

电子级试剂纯度极高,但待测TOC含量极低,传统稀释方法会导致TOC含量与空白无异,无法准确定量。


以双氧水为例,分解过程中产生的大量氧气和高温气化水分会导致气流波动,严重干扰测定结果。


耶拿突破:
独家VITA技术实时补偿气体流量波动,支持高达70%浓度双氧水直接进样分析。配合高聚焦NDIR检测器,一次进样即可同步分析TOC和TN参数。


验证案例:30%/70%双氧水测定
70%双氧水RSD仅0.5%,2.5ppm标液回收率达103%,证实仪器氧化性能优异,有效消除气流波动影响。




02

挑战二:酸碱性样品腐蚀问题

酸碱性样品直接进样会腐蚀定量阀密封圈和内部器械,导致进样体积不准,设备损坏加速。


耶拿创新:
采用超纯水替代样品进入定量阀,在保证进样精度的同时,避免仪器损耗,支持长时间分析酸碱性及含颗粒的高盐样品。


验证案例:电子级硫酸测定
样品加标回收率96%,TOC标样回收率97%,证明仪器对高纯硫酸基体耐受性良好。


验证案例:电子级氨水测定
样品RSD均小于1%,0.1ppm样品加标回收率99%,标样回收率102%,验证了低TOC氨水测定的准确性。




03

挑战三:标准曲线制备繁琐

低TOC浓度样品测定时,标准曲线配制困难,实验室难以获得TOC为零的稀释液,配制过程易引入空气中CO₂。


耶拿方案:
multi N/C总有机碳分析仪具备自动绘制标准曲线功能,无需人工配制,线性可达0.999以上。校准周期长达一年,大幅节省人力和时间成本。




结语

德国耶拿multi N/C总有机碳分析仪凭借直接进样、卓越的酸碱耐受性和智能校准技术,为高纯湿电子化学品提供了可靠的TOC测定方案,助力企业精准监控化学品纯度,确保生产效率和产品质量,提升市场竞争力。





END




上海恒奇仪器仪表有限公司,作为耶拿分析仪器的授权代理商,全心全意为您提供更多定制化的服务。

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